직무 · 삼성전자 / 공정기술
Q. 플라즈마 식각에서 undercut에 관해
RIE와 같은 플라즈마를 사용하는 에칭 공정에서도 등방성이 존재하여 undercut이 발생할 수 있다 들었습니다. 1. 이런 undercut 문제는 어떤 검사장비로 검출하나요? 2. 보통 undercut이 발생하면 어떤 방식으로 공정 최적화를 하나요? 3. 공정 최적화를 했을 때 발생할 수 있는 tradeoff가 뭐가 있을까요?
2025.09.02
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